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本发明涉及一种用于加工激光器件(10),尤其是III‑V硅上激光器的方法,包括:‑提供载体衬底(11);‑在载体衬底(11)上形成光栅结构(12),其中该光栅结构(12)界定载体衬底(11)的表面上的空腔(13);‑将管芯(16)置于空腔(13)中,并且将管芯(16)结合至载体衬底(11),其中该管芯(16)包括来自至少一个III‑V半导体材料的有源区(17);‑通过将管芯(16)的暴露侧结合至硅衬底(18)来将管芯(16)从载体衬底(11)转移到硅衬底(18),并且随后将载体衬底(11)从管芯
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113851924 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202110642967.X H01S 5/042 (2006.01)
(22)申请日 2
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