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本发明涉及一种多台并行光伏增效微纳结构加工装置及方法，包括有工件、吸附平台、运动模组、激光模块，其中激光模块由激光器、光束扩束镜、光束反射镜组成，激光器发射出激光束，经扩束镜将光斑放大，经过反射镜反射到激光模块出光口；运动模组结构由伺服电机、联轴器、滚珠丝杠、导轨、移动平台组成，伺服电机和滚珠丝杠通过联轴器连接，移动平台安装在滚珠丝杠和导轨上；所述的加工方法是通过激光模块带动激光头定位出光，与下方运动模组的相对运动，获得不同宽度的工件表面微结构；优点是通过多台飞秒激光器组合，形成多个激光头，并行
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113828928 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111190585.4
(22)申请日 2021.10.13
(71)申请人 浙江师范大学
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