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本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，涉及超精密机械技术领域。包括导轨和溜板，导轨包括凹腔和支撑部，支撑部设置于凹腔顶部两侧，溜板包括水平部和垂直部，水平部与支撑部相平行，水平部与支撑部之间具有第一气膜间隙，垂直部设置于水平部底侧，凹腔底部设置线圈，垂直部上设置电磁铁，水平部顶端设置调节腔，调节腔内设置气压调节器，气压调节器为磁致伸缩执行器，磁致伸缩执行器的伸缩方向对应线圈的磁场方向。本发明提供的气浮导轨，通过电磁铁和线圈相互作用，使导轨与溜板靠近或远离，调节气浮导轨的承载力，通过气压调节器在调节
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113833765 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111197728.4
(22)申请日 2021.10.14
(71)申请人 江苏集萃精凯高端装备技术有限公
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