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本申请实施例公开了一种薄膜晶体管、显示面板及其制备方法，其中，薄膜晶体管包括：有源层、栅极绝缘层以及电极层。其中，有源层包括金属氧化物，有源层包括相邻设置的第一接触部分、半导体部分和第二接触部分；栅极绝缘层设置在有源层上，栅极绝缘层上开设有第一过孔和第二过孔，第一过孔延伸至第一接触部分的表面，第二过孔延伸至第二接触部分的表面；电极层位于栅极绝缘层上，电极层包括位于同一层的第一电极、栅极和第二电极，第一电极通过所述第一过孔与所述第一接触部分连接，第二电极通过第二过孔与第二接触部分连接。本申请将薄膜
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871403 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111128551.2
(22)申请日 2021.09.26
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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