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2023-07-08 发布于四川
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微针电极及其制备方法.pdf

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本发明涉及微电子机械系统和微弱信号测量技术领域，尤其涉及一种微针电极及其制备方法。其中，微针电极包括：微针、夹持柄和输出端口；微针的数量为多个；各微针内沿夹持柄的一侧边均匀分布；各微针的朝向一致；输出端口设置在夹持柄的另一侧边；微针上设置有至少两个电极区；其中同一微针上的各个电极区距微针的针尖的距离不同；电极区为记录电极点或刺激电极点；输出端口设置有与电极区一一对应的输出接点；电极区通过金属引线连接对应的输出接点；微针、持柄和输出端口共用同一块基板；基板为表面涂覆有绝缘层的金属衬底。如此微针电极

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113855034 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111062293.2 (22)申请日 2021.09.10 (71)申请人北京大学地址 10

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