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2023-07-08 发布于四川
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一种基于神经形态芯片研发用晶圆打磨装置及其使用方法.pdf

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本发明公开了一种基于神经形态芯片研发用晶圆打磨装置及其使用方法，包括底座、支柱、升降机构、一号调节机构、二号调节机构、除尘机构和转动机构，所述底座的底顶部两侧对称固定连接有支柱，本发明的有益效果是：结构新颖操作便捷，且实用性强通过加入除尘机构，有利于对打磨过程中产生的粉尘快速清理，减小工作人员的劳动强度，提高清理效率，通过加入二号调节机构，有利于在打磨板的转动范围内对不同大小的晶圆的任意角度打磨，提高打磨效率，通过加入一号调节机构，有利于调节两个打磨板的间距，对不同厚度的晶圆打磨，适配性强，通过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113857969 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111122511.7 B24B 41/02 (2006.01)

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