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PVD-CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件.pdfVIP

PVD-CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件.pdf

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    本申请涉及类金刚石层领域，尤其涉及一种PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件。PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法，先在基材表面通过PVD法依次镀制Cr层、CrW层以及WC层；之后在所述WC层上通过CVD法镀制类金刚石层。类金刚石膜，采用上述PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法制备而得，类金刚石膜包括依次叠合的Cr层、CrW层、WC层以及类金刚石层，Cr层与基材连接。合金材料，其表面镀制有上述类金刚石膜。汽车部件，其采用上述合金材料制成。本申请通过在基材表面依

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113862671 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202111124614.7 C23C 16/26 (2006.01)

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