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2023-07-12 发布于四川
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一种基于非等离子体实现金刚石可控刻蚀的方法.pdf

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一种基于非等离子体实现金刚石可控刻蚀的方法，1)金刚石表面预处理，使用强酸混合液对金刚石衬底进行加热处理，然后依次用丙酮、乙醇和去离子水对金刚石衬底进行超声清洗，去除表面油污和其他杂质，烘干备用；2)金刚石刻蚀前准备，采用带有指定图案的掩模版，通过物理气相沉积法在金刚石衬底表面沉积相应图案的金属薄膜；3)金刚石的刻蚀，将带有镍金属薄膜的金刚石样品放入快速退火炉中，在加热前先通入一段时间的惰性气体和反应气体的混合气，用以排出装置里的空气；在流动的混合气体气氛下加热至指定刻蚀温度；反应完成后停止加热

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116409747 A (43)申请公布日 2023.07.11 (21)申请号 202310305156.X (22)申请日 2023.03.27 (71)申请人南京大学地址 210000

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