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2023-07-20 发布于四川
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一种硼烷混合气加工处理装置.pdf

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本实用新型公开了一种硼烷混合气加工处理装置，包括尾气供给单元，所述尾气供给单元输出端设有缓冲罐，所述缓冲罐一侧底部输出端设有处理箱，所述处理箱内部转动连接有两个搅拌杆，所述处理箱顶部设有箱盖，所述箱盖一侧设有出气管，所述出气管输出端设有吸收塔，所述吸收塔底部输出端设有循环水泵，所述循环水泵输出端设有输水管。本实用新型通过缓冲罐的设置，可以应对突发的大量尾气产生时尾气处理受制于装置的处理能力而直接排放，同时也可控制尾气的处理速率，并且可将尾气处理过程变为间歇性的以减少能耗、水耗，通过处理箱的设置，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214261359 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120014681.2 (22)申请日 2021.01.05 (73)专利权人江苏安瑞森电子材料有限公司

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