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2023-07-20 发布于四川
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一种使用等离子转移弧加热的导电坩埚高温蒸发器.pdf

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本实用新型公开了一种使用等离子转移弧加热的导电坩埚高温蒸发器，包括壳体、导电坩埚、转移弧枪和电源，导电坩埚设置于壳体的内腔中，导电坩埚由坩埚本体和安装于坩埚本体上方的坩埚盖组成，坩埚本体的底壁内设置有进气腔，进气腔一侧通过若干个载流气输入预热通道与坩埚本体内腔连通，进气腔另一侧连接有若干个导气通道，若干个导气通道端部均延伸至壳体外侧，坩埚本体底部与壳体底部之间连接有导电棒，转移弧枪安装于壳体上方且其下端延伸至坩埚盖内侧，转移弧枪、导电棒分别与电源电性连接。本实用新型结构简单，设计合理，其内部加热

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214260701 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120045905.6 (22)申请日 2021.01.08 (73)专利权人江苏博迁新材料股份有限公司

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