2023年扫描电镜实验报告.doc

试验汇报 学院： 专业： 班级： 姓名 学号 试验组 试验时间 10/5/12 指导教师 成绩 试验项目名称 扫描电镜 试验目的 结合扫描电镜实物，简介其基本构造和工作原理，加深对扫描电镜构造及原理的理解。 选用合适的样品，通过对样品形貌衬度和原子序数衬度的观测，理解扫描电镜图像衬度原理及其应用。 试验规定 简述扫描电镜的基本构造及特点。 举例阐明扫描电镜表明形貌衬度和原子序数衬度的应用。 试验原理 在扫描电镜中，成象的信息重要是电子信息，根据近代的电子工业技术水平，虽然高速变化的电子信息，也能毫不困难的及时接受、处理和储存，故可进行某些动态过程的观测，假如在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以通过电视装置，观测相变、断烈等动态的变化过程。用扫描电镜观测厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。 扫描电镜重要有真空系统，电子束系统以及成像系统。 真空系统重要包括 真空泵和真空柱两部分。电子束系统由 电子枪和电磁透镜两部分构成，重要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，因此在用热发射电子枪的扫描电镜上，电磁透镜必不可少。一般会装配两组：汇聚透镜、物镜（物镜为真空柱中最下方的一种电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表）。电子通过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品互相作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。因此需要不一样的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来辨别这些信号以获得所需要的信息。 工作原理：右图是扫描电镜的原理示意图。由最上边电子枪发射出来的电子束，经栅极聚 扫描电镜原理示意图 焦后，在加速电压作用下，通过二至三个电磁透镜所构成的电子光学系统，电子束会聚成一种细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下使电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与样品物质的交互作用，成果产生了多种信息：二次电子、背反射电子、吸取电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。这些信号被对应的接受器接受，经放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。由于通过扫描线圈上的电流是与显像管对应的亮度一一对应，也就是说，电子束打到样品上一点时，在 显像管 荧光屏上就出现一种亮点。扫描电镜就是这样采用逐点成像的措施，把样品表面不一样的特性，按次序，成比例地转换为视频信号，完毕一帧图像，从而使我们在荧光屏上观测到样品表面的多种特性图像。 试验仪器 电子扫描显微镜、试样、导电胶 试验环节 制作好试样、打开电子扫描电镜 用导电胶固定试样在载物台上 放好试样后，抽真空，调整试样的距离、扫描的衬度和最佳倍数 选择不一样倍数，照像 试验数据 试验总结 可以不一样程度的看到试样的外观形貌和表面组织，对断裂的不一样区域可以看清晰。纤维区、放射区、瞬断区三个区域中，放射区占得比例大为脆断。韧涡的中心一般是第二相粒子。不一样的程度体现出表面不一样的形貌组织。 指导教师意见 签名： 年 月 日