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本实用新型提供一种晶圆键合设备，包括：吸附装置，设置于第一晶圆及第二晶圆下方，第二晶圆位于第一晶圆上方；吹气顶针，设置于第二晶圆上方，用于在不接触第二晶圆的位置朝第二晶圆的中部区域进行吹气，以使第一晶圆与第二晶圆在吹气产生的压力下进行键合。本实用新型可以完全解决键合过程中晶圆由于受力所产生的形变问题，提高键合精度和键合质量，实现真正意义上的晶圆之间金属互连技术。本实用新型可以和目前使用的混合键合机台很好的兼容性，具有很好的实际应用价值。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214313133 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202022951918.8
(22)申请日 2020.12.08
(73)专利权人 上海新微技术研发中心有限公司
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