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本申请公开了一种三维主动减振控制系统，应用于三维主动减振装置，所述系统包括：反馈控制系统，用于对三维主动减振装置输出的一个竖直方向和两个水平方向的三个维度的振动信号进行反馈运算，输出三个维度的电压信号；压控电流源模块，用于将电压信号转换为电流信号，电流信号用于三维主动减振装置减振。本申请能够对测量得到平台上的振动进行计算，得到反馈信号，基于反馈信号驱动三维主动减振装置抵消残余的振动，来提高隔振效果，从而提高精密仪器的测量精度，相对于现有的被动隔振，其隔振能力大大增强，从而能够满足非常严苛的隔振需
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209895145 U
(45)授权公告日
2020.01.03
(21)申请号 20182
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