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本实用新型涉及一种坩埚位置矫正机构，包括由上至下依次水平设置的第一安装板(21)、第二安装板(22)、第三安装板(23)以及第四安装板(24)，在第一安装板(21)下方设置了升降机构，在第二安装板(22)上设置了X向移动机构，在第三安装板(23)上设置了Y向移动机构，在第四安装板(24)上设置了用于放置坩埚的主驱动齿轮，同时在第三安装板(23)上设置了主驱动齿轮转动的转动电机。本装置通过离合器的设置，能够在第一驱动齿轮停止工作的情况下，迅速将主驱动齿轮停止，能够提高整个装置的矫正精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209887355 U
(45)授权公告日
2020.01.03
(21)申请号 20182
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