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本实用新型公开了一种旋涂成型一体化装置，包括旋涂机，旋涂机的一侧设有基片移动台和放取样机械手，另一侧设有点胶模块，点胶模块上设有光源模块。点胶模块包括点胶机，点胶机上设有移动导轨，移动导轨的下端设有点胶针筒，点胶针筒连接有进料管道。光源模块包括光固化灯，光固化灯位于旋涂机上方的正方体灯罩中。放取样机械手的下端设有三爪卡盘。整体具有自动化和流水线式控制的特点，使放样、点胶、旋涂、光固化(特别对于光敏材料)、取样等加工流程能自动控制完成，实现旋涂样品的流水线式生产，提高加工效率和精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209888004 U
(45)授权公告日
2020.01.03
(21)申请号 20182
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