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本公开提供一种控制激光相干长度的装置及方法，装置包括：激光器、色散部件和发散角控制部件；所述色散部件设置于所述激光器输出激光的光路上，激光光束在输出之前以第一角度入射到所述色散部件后发生色散，使得出射激光光束的各光谱成分按照顺序依次排列，所述第一角度可变，激光光束的色散随着所述第一角度的变化而相应变化；所述发散角控制部件设置于经所述色散部件色散的出射激光光束的光路上，可对该出射激光光束的发散角的大小进行控制，相较于现有技术，本公开可以通过改变光束经过色散部件的色散和/或光束发散角，实现连续调节输
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116487982 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310395963.5
(22)申请日 2023.04.13
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 1
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