[说明]NikonI11光刻机开关机操作规范.doc

[说明]Nikon I11光刻机开关机操作规范 1.0 目的: 本计划的目的是使NIKON光刻机正常开关机。 7.0 范围: 本规范适用于所有NIKON光刻机。 8.0 定义: 无。 9.0 输入: 待开关机的设备。 10.0输出: Machine startup checklist、Machine shut down checklist 11.0绩效指标: 无 12.0责任: 严格按文件要求实施，确保设备正常运行。 13.0作业流程: 无 14.0备注说明: 14.1 NIKON开机操作规程: 14.1.1 检查动力源是否正常，并打开真空，压空阀门和循环冷却水 阀门，并将排风阀门打开至指定位置。 14.1.2 更换水过滤器。 14.1.3 打开变压器电源。 14.1.4 将主电源旋钮旋至ON。 14.1.5 按下主电源开关POWER ON。 14.1.6 合上配电柜中的所有开关。 14.1.7 打开CHAMBER。 14.1.8 打开汞灯电源，并点灯(使用寿命为1500小时)。 14.1.9 点亮卤素灯(使用寿命为1500小时)。 9.1.10 打开各个控制板电源。 9.1.11 打开计算机电源，并启动系统。 9.1.12待屏幕出现“”的时候，键入“B”，并回车。在屏幕出现登陆界面时，输入用 户名“MCSV”，密码“PASS”，在窗口Session Manager on NTVS01中。，点击 APPLICATIONS，在下拉菜单中选择MCSV，在出现的NSR MCSV窗口中，点击 START按纽。并初始化设备。 9.1.13进行设备精度检查。 14.2 NIKON关机操作规程: 14.2.1 将设备内的圆片和光刻版退出设备。 14.2.2 将LENS CONTROL STOP。 14.2.3 选择SHUTDOWN SYSTEM，按OK进行确认。 14.2.4 在窗口“SESSION Manager on NTVS01”，中点击SESSION，在下拉菜单中选择END SESSION，从而EXIT Session Manager。在随后出现的登陆界面中输入用户名 “SHUT”，密码“DOWN”点击登陆，在程序运行结束后，将计算机电源关闭。 14.2.5 关闭汞灯和卤素灯的电源。 14.2.6 关闭各个控制板电源。 14.2.7 将CHAMBER OFF。 14.2.8 关闭配电柜中的各个电源开关。 14.2.9 按下主电源开关POWER OFF。 14.2.10将主电源旋钮旋至OFF。 14.2.11关闭各个动力源。 14.2.12关闭变压器电源。 10.0附录: 无。 11.0参考: 无。 — END — Machine startup checklist 设备:NIKON 设备负责人签名: 开机处理顺序: 项目及作业要求 结果 操作者 备注 检查动力源是否正常(包括电、水、气、1 真空、排风) 2 更换水过滤器 3 打开变压器电源 4 将主电源旋钮旋至ON 5 按下主电源开关POWER ON 6 合上配电柜中的所有开关 7 打开CHAMBER 8 打开汞灯电源并点灯 9 点亮卤素灯 10 打开各个控制板电源 11 打开计算机电源，并启动系统 输入帐号和密码，启动MCSV系统并初始12 化 13 进行设备精度检查 Machine shutdown checklist 设备: NIKON 设备负责人签名: 开机处理顺序: 项目及作业要求 结果 操作者 备注 1 将设备内的圆片和光刻版退出设备 2 将Lens Controller stop 3 选择SHUT DOWN SYSTEM 输入帐号和密码，系统关闭后，将计算 4 机电源关闭 5 关闭汞灯和卤素灯电源 6 关闭各个控制板电源 7 将CHAMBER OFF 8 关闭配电柜中的各个电源开关 9 按下主电源开关POWER OFF 10 将主电源旋钮旋至OFF 11 关闭各个动力源 12 关闭变压器电源