无尘室介绍分析和总结.docx

无尘室介绍 飞信三厂无尘室包括以下几个部分一,隔间 二,风系统三,水系统 四,空调控制系统五,其他系统 1,隔间 无尘室隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区, 千级区和百级区均设风淋室(air shower), 无尘室与室外设有物品出入通道传递箱(pass box).当人员进入无尘室时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入无尘室的灰尘. 传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果. 由于生产工艺要求,地板为导电 PVC 地板.内隔间为双面抗静电库板,外围为单面抗静电库板. 吊顶为 T-Grid.办公区采用的是轻钢龙骨吊顶 FS 209E 落塵控制量 1 35 7.5 3 1 NA 10 350 75 30 10 NA 100 NA 750 300 100 NA 1,000 NA NA NA 1,000 7 10,000 NA NA NA 10,000 70 100,000 NA NA NA 100,000 700 清淨度( 清淨度(級 數) 0.1 測定粒子(μm) 0.2 0.3 0.5 5.0 AS-BUILT AT-REST OPERATING 10 2 5 10 100 20 50 100 1,000 200 500 1,000 10,000 2,000 5,000 10,000 100,000 20,000 50,000 100,000 清淨度(級數 清淨度(級 數) 測定粒子(μm) 风系统流程图(现场画) 系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统. 1全新风空调箱结构 2FFU:(FAN FILTER UNIT) 即风机和过滤器 千级区过滤器采用 HEPA,过滤效率 99.997%,百级区过滤器采用 ULPA,过滤效率99.9995% 3,水系统 水系统流程图(现场画) 冰水系统分为一次侧和二次侧. 一次侧冰水水温 7-12 度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水 12-17 度供给干盘管系统. 一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接. 板式换热器原理(现场画图). 干盘管:不结露的盘管,因无尘室温度在 22 度,其露点温度 12 度左右,故 7 度冰水不能直接进入无尘室,所以进干盘管的冰水温度在 12-14 度. 4 控制系统(DDC) 温度:干盘管系统控制 湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量 正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量. 5,其他系统 不只是空调系统, 无尘室系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,.