SOI电路可靠性筛选技术与失效机理研究.docx

1 摘 要 绝缘体上硅（SOI）作为集成电路制造的一种新型材料，拥有较低的寄生电 容、 较弱的短沟效应、 高速和低功耗的优势， 在高温高频大功率方面有非常广阔 的应用前景， 在空间及军事电子领域也已取得一定的进展。 本文对 SOI 的失效机 理及其对应的可靠性筛选技术展开讨论。 首先对可靠性筛选技术进行概述并阐述了可靠性筛选试验的重要性， 介绍了 可靠性筛选的特点， 并对不同的筛选方法进行了比较。 本文针对 SOI 电路的可靠 性筛选技术主要介绍老炼和环境应力试验、高温贮存试验及辐照试验。在对 SOI 电路可靠性筛选的分析过程中， 发现其在工作时存在一些失效现象，严重地影响 了电路的工作性能