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本实用新型公开一种带充气功能的超高真空自动排气台，包括机架，所述机架内侧分别设有检测组件、充气抽气组件和真空组件，所述充气组件和真空组件均通过连接管路与检测组件连通，所述检测组件包括检测台，所述检测台侧面设有数个工位截止阀，所述充气抽气组件包括充气用不锈钢接管、充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀，所述充气用气动截止阀通过微孔管道与充气用不锈钢接管连通，所述抽气用气动截止阀通过大孔抽气管与充气用不锈钢接管连通，所述充气用气动截止阀和抽气用气动截止阀通过连接管路与检测台连通，所述真空组件包括干泵、涡
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209943053 U
(45)授权公告日
2020.01.14
(21)申请号 20192
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