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一种半导体材料研磨液生产用精馏釜.pdf

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    本实用新型涉及研磨液生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用精馏釜，其可以回收溶液中蒸发的水分，方便对其进行回收再利用，减少对水资源的浪费；并且可以提高对研磨液的加热均匀性，提高其精馏效果；包括工作箱和加热装置；还包括箱盖、液化箱、隔板、多组导热管、上传输管和下传输管，液化箱右侧壁顶部和底部分别连通设置有出水管和进水管；还包括电机、主动轴、主动轮、从动轴、从动轮、传动链条、上滑轮、两组下滑轮和多组搅拌叶，主动轴右侧壁和从动轴左右两端分别设置有上连接杆和两组下连接杆，箱盖顶部右

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209934113 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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