JB_T 12585-2016真空技术 磁悬浮分子泵.pdf

ICS 23.160J78备案号：53529—2016中华人民共和国机械行业标准.JR/T 12585—2016真空技术磁悬浮分子泵Vacuum technology—Magnetic levitated turbomolecular pump2016-01-15发布2016-06-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T 12585—2016目次前言范围2规范性引用文件3术语和定义.4型式与基本参数...4.1型号表示方法.4.2基本参数.5技术要求6测试方法.6. 1最低工作压力测试6.2压缩比测试..6.3体积流率测试6.4启动时间测试6.5振动测试6.6噪声测试..6.7转速测试..7检验规则7.1一般要求.7.2检验要求8标志、包装、运输和贮存表1磁浮泵的基本参数 JB/T12585—2016前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草，本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化检术委员会（SAC/TCI8）归口。本标准起草单位：北京中科科仪股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、川北真空科技（北京）有限公司、东莞劲胜密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：朱国精、邹象、李奇志、刘磊、胡启、张晨光、陈林、张智明、郑荣禧、王长明、王玲玲。本标准为首次发布。II JB/T 12585—2016真空技术磁悬浮分子泵1范围本标准规定了磁悬浮分子的术谱和定义，型式与基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存。本标准适用于具有前级票的磁最浮分于泵（以下简称磁浮泵）。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件，GB/T 191包装储运图示标志GB/T 2829周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验）GB 4793.1测量、控制和实验室用电气设各的安全要求第1部分：通用要求GE/T 4982真空授术快卸连接器尺寸第1部分：夹紧型GB 5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB/T 6071超高真空法兰GB/T 7774—2007真空技术涡轮分子泵性能参数的测量GB/T 21271真空技术真空泵噪声测量术语和定义GB/T7774一2007界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1体积流率volume flow rate4b在理想条件下，单位时间从测试罩流过分于累入口的气体体积。注1：出于实际测试的原因，磁浮系对给定气体的体积流率通常约完等于该气体的流量与给定点的平衡压力之商，体积流率采用的单位为立方米每秒（m/s）或升每移（L/s)，注2，有时用术语“抽速”和符号“5”来代替休积流率，3.2最低工作压力minimum operational pressurePo烘烤过程结束后48h测试罩中狭得的压力。3.3压缩比compression ratioKett磁浮泵出口压力与入口压力P之比。K/P注：为了得到给定气体的零流量压缩比Kg，该气体在出口中分压力至少为P的90%，1 JB/T 12585—20163.4启动时间startingtime从接通电源开始到磁浮泵转速达到额定转速的90%所需的时间。3.5极限压力ultimatepressure测试罩中逐渐趋近的压力值。注1：它是蒙能获得的最既压力，极限压力，那就应当说明完成测试的工作条件，3.6临界前级压力critical backing pressurePe当泵能保持其压缩比P,/P2，且吹扫气体保持流通时的最高前级压力P注：P是入口处（离》真空压力。3.7最高工作压力maximum working pressurePrmax泵和驱动装置不发生损坏的条件下所能承受的泵入口最高压力。3.8最大流量maximum throughputQeax分子泵能连续抽气而不损伤或毁坏的最高气体负荷，单位为帕升每秒（Pa·L/s)。注，这个极限参数取决于系的设计，大多数情况下，这个参数以系指定位置的最高温度来给出。2值取次于被油气体、所使用的前级系以及冷却条件等。型式与基本参数4.1型号表示方法特征符号体积流率（抽速)，单位为升每秒（L/s)进气口通径，单位为毫米（mm）磁浮泵，用字母CXF表示注：“特征符号”指磁浮系特球结构、特殊用途的字每代号，由生产商白定，但字母代号所代表的意义必须在样本资料和使用说明书中注明，例如，T-磁浮象票体附带加热功能，示例：进气口遇径为250mm，体积流事为2000L/s的醛择分子累，型号为：CXr-250/2000，4.2基本参数碰浮泵的基本参数见表1。N JB/T 12585—2016注1：对于型号超出表1或有特殊性能要求的磁浮