JBT 6842-1993扫描电子显微镜 试验方法.pdf

JB中华人民共和国机械行业标准JB / T 6842-93扫描电子显微镜试验方法1993-~07-09 发布1994-01-01实施中华人民共和国机械工业部发布 中华人民共和国机械行业标准JB / T 6842-93扫描电子显微镜试验方法代替 ZBY340-851 主题内容与适用范避本标准规定了扫描电子显微镜(以下简称扫描电镜)的试验方法。本标准适用于扫描电镜主机性能的试验。2 引用标准GB 7667电子显微镜·X射线泄漏剂量规定ZBN 30005电子光学仪器包装通用技术条件JB/T 5384 扫描电子显微镜技术条件JB 5517光学仪器电气防护基本安全要求3 试验条件3.1试验的环境条件为：a．环境温度：20 ± 5℃ ;b：相对禄度：不超过 70%;供电电源：单相220±22V、50±1Hz;c.三相 380 ± 38V、50 ± 1Hz;d．其有独立接地线，其接地电阻不超过4Q;e.试验室的杂散磁场不超过5×10°T；f. 试验室应无频率为 5~20Hz,振幅超过 5μm 的蔗动;g．水冷系统的流量不低于 21 /min，压力不低于 4.9×10Pa,水温不高于 225℃。3.2在测试电性能时,预热时间不得超过 60min。4 技术性能试验4.1分辨力4.1.1试验设备a十倍读数放大镜；b．灰度等级卡;c．0-125mm,测量精度为 0.02mm 的游标卡尺。机械工业部1993-07-09批准1994-01--01实施 JB / T 6842-93图11位置稳定性试验示意图试验台位置的稳定性误差按下式计算：4.11.3.4PS:(19)M式中： S-试验台位置的稳定性误差,mm;P.-特征点漂移量算术平均值,mm;/ 6:iμ1M-—标称放大倍率。4.12X射线泄漏剂量X射线泄漏剂量及试验方法按GB7667。4.13绝缘电绝缘电阻试验方法按JB5517中3.2规定进行。4.14介电强度介电强度试验方法按JB5517中3.3规定进行。4.15泄漏电流泄漏电流试验方法按JB5517中3.4规定进行。4.16贮运环境条件扫描电镜在运输包装条件下，应符合 ZBN30005的要求。附加说明：本标准由上海电子光学技术研究所提出并归口。本标准由上海电子光学技术研究所负责起草。10 JB / T 6842-93中华人民共和国机械行业标准扫描电子显微镜试验方法JB / T 6842-93*机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所出版北京机械企协印刷服务部印刷机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所出版*1995年 9月第一版1995 年 9 月第一次印刷* JB / T 6842-934.1.2试验样品a.表面蒸金碳片；b．表面蒸金磁带。4.1.3试验程序4.1.3.1根据不同类型扫描电镜的分辨力指标，选择相应的放大倍率，拍摄表征分辨力照片。测得间隙宽度的最小值。（见图1)亮区暗区图1 间隙宽度示意图4.1、3.2表征分辨力的照片，必须具有8级灰度等级标准中不低于三级灰度，照片上不应存在明显的毛刺。4.1.3.3表征分辨力照片应有两张以上，在拍摄过程中允许改变工作条件。4.1.3.4在放大到照相荧光屏图象尺寸的表征分辨力的照片上，找出间距最小的两个间隙。（它们的法线之间夹角必须大于60°）测定其宽度，按下式计算分辨力值。X 10°*(1)式中：A分辨力值,nm;a--间隙宽度,mm;M--拍摄时放大倍率。4.2放大倍率4.2.1试验设备0～125mm，精度为0.02mm的游标卡尺。4.2.2试验样品a.蒸金方网格光栅；b.蒸金塑料球。4.2.3试验程序4.2.3.1在标称最低倍率和拍摄分辨力的倍率上，以及两者之间任选三个倍率（共五个倍率），各拍摄一张照片进行测定。4.2.3.2在定高于2万倍的放大倍率时，允许从图样上的参考作对比测定。4.2.3.3放大倍率按下式计算d1M=(2)dxMr式中: M一图像放大倍率；d一照片上网格条纹间距或图形尺寸，mm；一试样上网格条纹间距标准尺寸或图形的实际尺寸，mm;M,光学放大倍率。.4.3真空度4.3.1试验设备a.复合真空计；2 JB / T 6842-93b.计时钟。4.3.2试验程序在试样室附近安置一个测量真空的接口，并处于大气状态，用电离真空计和计时钟测量并记录：a，记录自开机至达到工作真空的时间；b．记录自开机至达到极限真空的时间;c．记录更换试样（或灯丝)后，重新恢复工作真空的时间。4.4图象稳定性4.4.1试验设备0～125mm、精度为0.02mm的游标卡尺。4.4.2试验样品a．表面蒸金碳片；b．表面蒸金磁带;c．金属栅网或蒸金方网格光栅。4.4.3试验程序4.4.3.1扫描电镜处于拍摄分辨力的的工作状态，在不改变试验条件情况下，间隔5min在同一底片上分别拍摄两幅图象照片。4.4