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磁控溅射 Al膜 溅射功率 工艺气压.docx

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    PAGE 16 - PAGE 15 - 摘 要 在能源危机，光伏发电逐渐展现优势的今天，太阳能电池的发展与应用逐渐受到关注。而碲化镉电池以其高效率、高稳定性、低成本等特点在太阳能电池领域占据一定地位。在其研发到生产的过程中，有很多因素会影响到太阳能电池的性能，其中在生产中背电极所镀Al膜也会对电池的性能产生影响，所以本实验通过测试改变铝膜质量性能的工艺参数以测试出在生产中最适宜的参数值。 本实验主要采用连续镀膜设备，以纯度较高的Al作为靶材，高纯Ar气进行溅射，通过中频交流磁控溅射设备，在玻璃基片上沉积A1膜，然后利用检测仪器对Al膜进行性能表征。本实验研究工艺气压和溅

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