SJ_T 11451-2013扩散炉能源消耗规范.pdf

ICS31.550L 01SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T11451—2013扩散炉能源消耗规范Specification for energy consumption norm of diffusion furnace2013-12-01实施2013 -10-17发布发布中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T11451—2013前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由工业和信息化部节能与综合利用司、中国电子节能技术协会提出。本标准由中国电子技术标准化研究院归口。本标准起草单位：北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心。本标准主要起草人：李补忠、盛金龙、刘效祯、蒋迪宝、杨常建、严海若。一 SJ/T11451-2013引弘言为了贯彻国务院关于加快建设节约型社会及工业和信息化部关于开展资源节约、完善规章制度和标准的要求，根据原信息产业部信运简[2005]】23号文和信运简[2006]04号文的要求，制定本标准。INFORMATION.2CH8888022011SSTARD0III SJ/T11451—2013扩散炉能源消耗规范范围:本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。,INFORMD规范性引用文件2F的是必不可少的。凡是注日期的引用受样了下列文件对于本文日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用.91GB/T:2587能量GB/T 3484能量GB/T.12723产品消耗限额直则ECHN单位能量器具配GB17167备和管理通则3能源消耗指标计算草原则-n指标是单位产量单元的可比单耗。3.1.扩散炉能源滑耗毛天以格RPA3.2扩散炉可比单糕是生产催克合格商电能量新使用的耗能工质接消耗的3.3实耗电能量直接消耗的！3.4扩散炉能源消栽察的合格产品的折合产量，无论是最终产品中间产品还是初级产品，均平进行比较，对工以单位产品产量为。为了便于20能耗艺温度不同的产品规定?.了不同的产品产量可比折算系数（简移.期进行统计计算，也可按生产周期3.5扩散炉可比单耗可按统计测算其数据的取值应符合GB/T 2587、GB/T 3484、GB/T 12723合GB17167的要求。A能源消耗等级指标扩散炉能源消耗等级指标应符合表1的规定。表1扩散炉能源消耗等级指标可比单耗kw.h/kg二级级18. 0b≤30. 0618.0 SJ/T11451—20135可比单耗计算方法5.1扩散炉的可比单耗按公式（1）计算：Em式中：bk—可比单耗，单位为千瓦时每千克（kw-h.／kg）E统计期内扩散炉实耗电能量，单位为千瓦时（kwh），计算方法见公式（2）：统计期内该扩散炉合格产品的折合产量，单位为千克（kg），计算方法见公式（6）mz5.2实耗电能量（E)按公式（2）计算：E - Ei+E2+E3+E4(2）式中：E一系统（包括控制装置）消耗电能量，单位为千瓦时（kw-h）：E-冷却水折合电能量，单位为千瓦时（kwh），计算方法见公式（3）；E—氧气折合电能量，单位为千瓦时（kw-h），计算方法见公式（4）；E-一氮气折合电能量，单位为千瓦时（kw-h），计算方法见公式（5）。5.2.1冷却水折合电能量（E）按公式（3）计算：E2=2·N2(3)式中：β2—冷却水折电系数，单位为千瓦时每吨（kW-h/t），当使用自来水时β2=0.6364，当使用循环水时其折电系数按每吨水的耗电量计算；N一冷却水消耗量，单位为吨（t）-5.2.2氧气折合电能量（E）按公式（4）计算E3=B3N4式中：β—氧气折电系数，单位为于瓦时每立方米（kW-h/m），β3=1.26：N--氧气消耗量（标态），单位为立方米（m）。注：标态系标准状态的简称，指的是温度为0℃、压力为101325Pa时的状态。5.2.3氮气折合电能量（E）按公式（5）计算：E4=B4.-N4式中：β;—氮气（高纯氮）折电系数，单位为千瓦时每立方米（kW-h/m），β,=1.66N-一氮气消耗量（标态），单位为立方米（m）。 SJ/T 1145120135.3合格产品的折合产量（m）按公式（6）计算：(6)mz(m:/K)式中：扩散炉各个炉管的合格产品产量，单位为千克（kg）m;i扩散炉的炉管数，i=1～n；KT工艺温度可比折算系数，其数值与运行时要求的工艺温度有关，详见表2表2工艺温度可比折算系数400℃T≤550℃T≤700℃T≤850℃T≤1000℃T1150℃T工艺温度TT1300℃550℃700℃850℃1000℃≤1150℃≤1300℃KT0.831.671.411.005.4扩散炉可比单耗