YS_T 1141-2016钛蒸发料.pdf

ICS 77, 150, 50YSH 64中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 1141—2016钛蒸发料Evaporated titanium material2016-07-11发布2017-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T 1141—2016前言本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草，本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口，本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人：张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、吴艳华， YS/T 1141—2016钛蒸发料1范围本标准规定了钛燕发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检累的逐批检验抽样计划GB/T 4698. 7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法：氧量、氮量的测定GB/T 4698. 14海绵钛.钛及钛合金化学分析方法碳量的测定GB/T 4698. 15海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氢量的测定YS/T 891高纯钛化学分析方法痕量杂质元家的测定辉光放电质谱法YS/T 892高纯饮化学分析方法痕量杂质元素的测定电感榈合等离子体质谐法3要求3.1产品分类3.1.1产品按照纯度分为IC-Ti99.9、IC-Ti99.995,IC-Ti99.999三个牌号，3. 1.2产品主要分为片状.柱状，如图1所示、LD说明：)片状b)柱状A-—边长;B-一达长，C-一厚度；D—直径;I—长度.图1钛蒸发料示意图1 YS/T 1141—20163, 2化学成分3.2. 1产品的化学成分产品的化学成分要求见表1。钛蒸发料的纯度，按照减量法计算，即为100%减去表中规定的杂质实测总和而得。需方对某种符定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商执行。表1化学成分Ti质量分数)/%，杂质含量(质量分数)(×10*)/%，不大于牌号不小于AgAIBCaCrCuFeIC-Ti 99. 999. 9-100-25一 40050 400IC-Ti 99, 99599, 9955. 00. 1一1. 05. 02, 015, 0IC-Ti 99, 99999, 9990. 22. 00. 1 1. 00. 11. 01. 07. 0Ti(质量分数)/%，录质含量（质量分数)(X10-*)/%，不大于牌号不小于KLiMgMnMoNaINPbIC-Ti 99, 999, 955-305002.一IC-Ti 99, 99599. 9950. 10. 11. 01. 04. 00. 25. 02. 0IC Ti 99, 999GGG °GG0, 10. 10, 10, 30, 50. 10, 50. 1 Ti(质量分数)/%，杂质含量（质量分数)（×10-)/%，不大于牌号不小于ISSnUVwZnZrIC-Ti 99, 999, 9100一一一一一IC-11 99. 995666°6610. 02. 00. 01 0. 01 1.01.01. 05. 0IC-Ti 99. 99999.9992. 01. 00. 0010. 0011. 00. 5 0. 51. 03.2.2产品的气体杂质元素含量产品的气体杂质元素含量要求见表2。表 2气体杂质元素含量Ti(质量分数)/%，气体元索含量（质量分数)(×10)/%，不大于牌号不小于cHNsIC-Ti 99, 999. 9200-200800一IC-Ti 99. 99599. 995 5010 5030010 IC-Ti 99, 99999, 99940 1050250103,. 3几何尺寸产品的规格及允许偏差见表3。2 YS/T3规格及允许偏差单位为意*片状柱状项目ABcDL1010236尺寸1515e一720允许偏差±0, 5±0, 5± 0. 2±0, 2±0, 5注；经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的产品，3. 4外观质量3, 4, 1产品表面应光亮平整、洁净，边角完整，无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。3, 4,2产品表面应清清，无油污和锈蚀；应尤颗粒附加物和其他沾污3. 4, 3产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。4试验方法4.1化学成分的分析方法4. 1. 1金属杂质元素的分析方法；牌号为IC-Ti99.9的产品按照YS/T892测定；牌号为ICTi99.995%和