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一种改善等离子体启辉及稳定性的装置.pdfVIP

一种改善等离子体启辉及稳定性的装置.pdf

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    本实用新型公开一种改善等离子体启辉及稳定性的装置，包括激励射频电源、电感耦合线圈、反应腔室、介质窗、静电卡盘和偏压射频电源，电感耦合线圈的一端口与激励射频电源连接，另一端口串联有可调电容，电感耦合线圈外圈端口到反应腔室接地端的距离小于电感耦合线圈内圈端口到反应腔室接地端的距离，且电感耦合线圈外圈端口的电压高于电感耦合线圈内圈端口的电压，本实用新型通使电感耦合线圈外圈端口的电压始终高于电感耦合线圈内圈端口的电压，这种电感耦合线圈外圈和内圈间的电压差不仅有利于等离子体启辉，扩大工艺窗口；有利于维持工

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209982804 U (45)授权公告日 2020.01.21 (21)申请号 20182

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