YS_T 1129-2016钨钛合金靶材.pdf

ICS.77, 160I1 72YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 1129—2016钨钛合金靶材Tungsten titanium alloy sputteringtarget2016-07-11发布2017-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T 1129—2016前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化妆术委员会(SAC/TC243)量出并归口。本标准起草单位：西安瑞福莱钨钼有限公司、北京天龙钨钼科扶股份有限公司、厦门虹鹭钨钼工业有限公司，本标准主要起草人：李长亮、任吉文、刘云飞、苏国平、白锋、韩幕幕。1 YS/T 1129—2016钨钛合金靶材范围本标准规定了溉射用钨钛合金靶还的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单或合同)等内容，本标准适用手兽钛合金摄射靶材加工用靶还。规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仪注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单适用于本文件。GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合全密度测定方法GB/T4324（所有部分）角化学分析方法GB/T 6394金属平均晶粒度测定方法GB/T 8651金属板材超声板波操伤方法GB/T 14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则YS/T 901高纯钨化学分析方法痕量杂质觉索的测定辉光放电厘谱法要求3.1分类3.1.1产品按外形分圆形、矩形。3.1.2产品按化学成分分为 WTi-99,9,WTi-99,95,WTi-99,99,WTi-99,995,WTi-99.999,3. 2化学成分产品的化学成分应符合表1的规定，其中钨钛含量为100%减去表中非气体杂质实测含量总和。表 1化学成分牌号WTi-99, 9WTi-99, 95WTi-99, 99WTi-99, 995WTi-99, 999钨伙含量（质量分数》/%，不小于99. 999, 9599, 9999, 99599, 999合金元索含量w余量(质量分数)/%7i5~15Al2015 1053非气体杂质含量Ca1031(质量分数)/%(X10*)，不大于Cr1510 (Cn5- YS/T 1129—2016表1(续)牌号元累WTi-99, 9WTi-99. 95WTi-99, 99WTi-99, 995WTi-99, 999鸽钛合量（质量分数）/X，不小于99. 999, 9899 9999, 99599, 999Fe10050453525 Mg10311Mn30 20 15 105Mo10 322Ni1010552SI10 10553Zr10158非气体杂质含量V10 11(质量分数)/%Li--0. 010. 010. 01(X10*),不大于Na1-10. 2K11110. 07IL.i+ Na+K--P5532. 52F530. 10, 10. 1CI1052u0. 010. 01 0. 0020. 0020. 001Th0. 01 0. 01 0. 0020, 0020, 001c100100100 6060气体杂质含量N100100505050(质量分数)/%01 5001 5001 2001 000800(X10-*),不大于H100100 50 50 50 02 2. 523.3密度产品的密度值应不小于理论密度的98%。3.4品粒尺寸产品由钨和钛两种晶粒组成，两者的晶粒尺寸应符合表2规定。表2晶粒尺寸晶粒组成平均值/μm最大值/μm钨晶粒尺寸5≤15钛品数尺寸≤45≤1202 YS/T 1129—20163.5内部质量产品的内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。3. 66尺寸及其允许偏差产品尺寸及允许偏差应符合供需双方签订的技术图样、3.7外观质量产品表面应洁，无油污、锈蚀、无颗粒附加物，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。试验方法4.1化学成分分析方法4,1.1纯度为99.9%、99.95%、99.99%的产品中非气体杂质元素分析按照GB/T4324(所有部分）的规定进行；纯度为99.995%和99.999%的产品中非气体杂重元索的分析按照YS/T901的规定进行。4.1.2气体元素C、N、O、H、S分析按照GB/T14265的规定进行。4.1.3Ti元索的分析方法用电感耦合等离子体光谱法测定，4.2密度检验产品的密皮检验按照GB/T3850的规定进行，4. 3晶粒尺寸检验产品的晶粒尺寸检验按照GB/T6394的规定进行，4.4内部质量检验产品的内部质量检验按照GB/T8651的规定执行，4.5尺寸及其允许偏差检验产品外形尺寸及其允许偏差应用相应精度的量具进行测量。4.6外观质量检验产品外观质量用目视检