YS_T 919-2013高纯铜铸锭.pdf

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ICS 77.120.30YSH 62中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 919-—2013高纯铜铸锭High purity copper ingot2013-10-17 发布2014-03-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T 919-2013前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司。本标准主要起草人:张涛、刘书芹、尚再艳、王欣平、高岩、贺昕、曾浩、王兴权、雷继峰、王永明、朱晓光、陈明。1 YS/T 919--2013高纯铜铸锭1范围本标准规定了高纯铜铸锭的产品要求、制造条件、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于制造半导体铜靶材所需的高纯铜铸锭。其他行业所需的高纯铜铸锭也可参照使用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法YS/T922高纯铜化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法3要求3.1产品分类高纯铜铸锭按化学成分分为四个牌号:6N5、6N、5N、4N5。3.2化学成分要求3.2.1高纯铜铸锭的杂质成分要求应符合表1规定。表1高纯铜铸锭的杂质成分牌号6N56N5N4N5铜含量(质量分数)/%,不小于99.999 95666$6666Ag0.10.3225A10.0050.050.5As0.010.020.15Bi0.010.020.21Ca0.01杂质含量/10-4%,0.020.5不大于Cd0.050.11Cl0.050.020.3Cr0.010.020.1F0.051 YS/T 919--2013表1 (续)牌号6N56N5N4N5铜含量(质量分数)/%,不小于99.999 956 666666666699.995Fe0.050.10.510K0.010.02Mn0.020.02Ni0.050.10.510 P0.010.020.13Pb0.010.020.055杂质含量/10-4%,Sb0.010.020.14不大于Se0.050.050.13IS0.050.050.5Sn0.010.050.1Te0.020.050.12Th0.000 50.000 5U0.000 50.000 5Zn0.020.050.1杂质总含量/10-4%,不大于0.5110 50注1:高纯铜铸锭的铜含量为100%减去表中所列杂质实测总和的余量(不含C、N、O、S)。注2:客户对某种特定杂质元素含量有特殊要求的,由供需双方协商确认。3.2.2高纯铜锭中碳、氮、氧、硫杂质元素含量见表2。表 2高纯铜铸锭中碳、氮、氧、硫元素杂质元素含量牌号6N56N5N4N5铜含量(质量分数)/%,不小于99.999 956 666666666699.995c111020N杂质含量/10-4%,11510不大于0155s0.050.051153.3几何尺寸及允许偏差高纯铜铸锭形状一般为圆柱型,直径(D)大于150 mm,长度大于 400mm。其外形尺寸及允许偏差,可根据需方要求提供或由供需双方协商。2 YS/T 919-—2013图1高纯铜铸锭示意图3.4外观质量高纯铜铸锭表面应洁净,无裂纹、无毛刺、无夹杂、无孔洞和其他沾污。3.5内部质量高纯铜铸锭内部应连续一致,内部应无气孔、疏松、缩孔和夹杂等缺陷,由供方生产工艺保证。4试验方法4.1化学成分分析方法4.1.1高纯铜铸锭中杂质元素、氟、硫、磷的分析方法按照 YS/T 922的规定执行。4.1.2高纯铜铸锭中碳、氮、氧杂质元素的分析按照GB/T14265的规定执行。4.2外观质量外观质量用目视检测,如发现异常现象,在10倍放大镜下目视检查。4.3内部缺陷检查高纯铜铸锭内部缺陷检查按YS/T837的规定进行。5检验规则5.1 检验和验收5.1.1产品应由供方检验部门进行检验,保证产品质量符合本标准或合同(或订货单)的规定,并填写质量证明书5.1.2需方对收到的产品按本标准的规定进行检验,如检验结果与本标准或合同(或订货单)的规定不符,应在收到产品之日起30d内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样在需方,由供需双方共同进行。5.2组批产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同种牌号和同一规格的产品组成,并按锭号排序。3 YS/T 919—20135.33检验项目和取样规定检验项目、取样位置及数量应符合表3规定。表3检验项目、取样位置及数量检

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