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一种用于真空器件互联装置.pdfVIP

一种用于真空器件互联装置.pdf

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    本实用新型公开了一种用于真空器件互联装置，包括连接装置和管道，所述连接装置与管道端口连接，所述连接装置包括两个连接器，所述连接器内侧通过弹簧与保护垫连接，所述保护垫间通过波纹管连接，所述连接器上开有若干第一螺孔，所述第一螺孔通过第一螺丝与第一螺母连接，所述连接器外侧安装有固定块，所述固定块通过第二螺孔与第二螺丝连接，所述第二螺丝左侧安装有第二螺母。本实用新型具有使用便捷高效，能为电子束提供真空传输管道。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209963016 U (45)授权公告日 2020.01.17 (21)申请号 20192

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