YS_T 936-2013集成电路器件用镍钒合金靶材.pdf

ICS 77.150.40YSH 62中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 936-2013集成电路器件用镍钒合金靶材Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device2013-10-17发布2014-03-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T 936—2013前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草，本标准由全国有色金属标准化技术委员（SAC/TC243)归口。本标准负责起草单位：有研亿金新材料股份有限公司本标准参加起草单位：北京有色金属研究总院、宁波江丰电子材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人：董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜。1 YS/T 936—2013表A.2(续)元素测定同位素的质量数硅28钛48钨182锌66A.5分析步骤A.5.1 试料称取试样 0.1 g,精确至 0.000 1 g。A.5.2测定次数独立地进行两次测定，取其平均值。A.5.3空白试验随同试料做空白试验。A.5.4溶液的制备A.5.4.1试料溶液的制备将试料（A.5.1)置于聚四氟烧杯中,以水润湿，加人2mL氢氟酸（A.3.2）、5mL硝酸（A.3.1），低温加热至试料溶解完全，取下冷却，移人100mL塑料容量瓶中，准确移取1.00mL内标溶液（A.3.6)于上述容量瓶中,稀释至刻度,混匀。A.5.4.2系列标准溶液的制备准确移取0 mL、0.50 mL、1.00 mL、2.00 mL、4.00 mL、6.00 mL、8.00 mL、10.00 mL混合标准溶液B(A.3.5)于8个100mL塑料容量瓶中，分别准确移取1.00mL内标溶液（A.3.6)于上述8个100mL塑料容量瓶中，分别加人2mL氢氟酸（A.3.2)、5mL硝酸（A.3.1），以水稀释至刻度，混匀，待测。此溶液 1 mL 含 0 ng、5.0 ng、10.0 ng、20.0 ng、40.0 ng、60.0 ng、80.0 ng、100.0 ng 的待测元素。A.5.5 测量A.5.5.1于电感耦合等离子体质谱仪上，仪器运行稳定后，在选定的仪器工作条件下，按表A.2推荐的同位素质量数，用配制好的系列标准溶液（A.5.4.2）进行标准化或绘制校准工作曲线，各元素工作曲线相关系数应在0.999以上，否则需重新进行标准化或重新配制系列标准溶液进行标准化。A.5.5.2测试分析试液（A.5.4.1、A.5.4.2)及空白试液。仪器根据工作曲线，自动进行数据处理，计算并输出各元素质量浓度。A.6分析结果的计算各元素的含量以元素的质量分数W计，以%表示，按式（A.1)计算：9 YS/T 936—2013(p -po)·V× 10-9Wx= ×100%(A.1 )m式中：-计算机输出的分析试液中待测元素的浓度，单位为纳克每毫升（ng/mL)；Pr-计算机输出的空白试验溶液中待测元素的浓度，单位为纳克每毫升(ng/mL);V 分析试液的体积,单位毫升（mL);-试料的质量，单位为克（g)。m A.7允许差实验室之间分析结果的差值应不大于表A.3所列允许差。表 A.3允许差W / %相对允许差/%0.000 1~0.000 31000.000 3~0.000 6800.000 6~0.001 5600.001 5~0.003 0400.003~0.005300.005~0.01020A.8试验报告本试验报告应包括下列内容：a)试样;b)使用的标准（包括发布或出版年号）；c)分析结果及其表示；d)与基本分析步骤的差异;e)测定中观察到的异常现象;f)试验日期。10 YS/T 936-2013附录B（规范性附录）电感耦合等离子体质谱法测定镍钒合金靶材中的钒含量B.1范围本方法规定了镍钒合金靶材中钒含量的测定方法。本方法适用于镍钒合金靶材中钒含量的测定，测定范围为6.5%～7.5%。B.2方法提要试料以氢氟酸和硝酸溶解，用电感耦合等离子体发射光谱仪测定，按工作曲线法计算钒的浓度，以质量分数表示测定结果。B.3 试剂除另有说明，在分析中仅使用确认为优级纯的试剂和蒸馏水或去离子水或与其纯度相当的水。B.3.1 硝酸(p=1.42 g/ mL)。B.3.2 氢氟酸(p=1.16 g/ mL)。B.3.3钒（硝酸介质）单元素标准贮存溶液（国家标准样品/国家标准物质），质量浓度为1000μg/mL。B.4　仪器B.4.1电感耦合等离子体发射光谱仪。B.4.2推荐钒的分析谱线：309.3nm。B.5分析步骤B.5.1 试料称取试料0.1g，精确至0.0001g。B.5.2测