SJT 10315-1992四探针探头通用技术条件.pdf

L 99SJ中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10315—92四探针探头通用技术条件Generic specification of. Four-point probe1992-12-01实施1992-06-15 发布中华人民共和国机械电子工业部发布 中华人民共和国电子行业标准SJ/T10315—92四探针探头通用技术条件Generic Specification of Four-point probe1主题内容及适用范围本标准规定了四探针探头（以下简称探头）的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层的电阻率、薄层电阻和电阻的探头。本标准与SJ/T10314《直流四探针电阻率测试仪通用技术条件》标准配套使用。2引用标准SJ/T10314直流四探针电阻率测试仪通用技术条件GB 191包装储运图示标志SJ 1889电子测量仪器可靠性试验方案3术语及公式以下名词及公式均采用本标准的定义。3.1四探针探头用耐磨的金属线材，一端加工成一定锥度和曲率半径作为针尖的四根针形探针，使四个针尖顶端处在同一平面内，按一定排列形式组装在一起，并有四根导线与其各自相连，可在其上施加电流或测量电压的组合件。探针排列一般为等间距的直线形排列或正方形排列。3.2探针间距S相邻两探针中心轴线的距离。其确定方法是测量探针在被测样品上的压痕，按公式（1)计算得出。图示出直线形排列的探针间距确定方法，正方形排列的探针间距可参照此方法确定。1992-12-01实施中华人民共和国机械电子工业部1992-06-15批准1- SJ/T 10315-92第一针第四针第二针第三针YYAYs1oddaAD2CCBASiS2S.x直线形排列的四探针头压痕（一组）测量位置图圆心座标：C+DE+FG+HA+B0, 0f -O3 =O.-222探针间距：S = O, - O = (C+ D)(A+ B、22(E+FC+D(1)S, O,- O 22E+FG+H、S,=0- 0=2232.1探针间距的平均值Si同一探头，相同两相邻探针十次压痕测量计算出探针间距值的平均值。直线形排列的四探针头，其探针间距的平均值为：s.S,101S............(2)10:1933102s.式中.j---测量组数，j1、2、3….103.2.2平均探针间距3对于等间距的探头，各探针间距的平均值的算术平均值。对于直线形排列的探头，平均探针间距为：Sm-(S+ + S, + S.)(3)3.3针尖压痕尺寸探针与样品接触形成的压痕在X轴方向上最大尺寸。-2 SJ/T 10315-92d|B-Aldz|D-Cl(4)d=IF-EIdIH-G3.4探针系数C由于探针间距和其排列方式的不同而引入的系数称为探针系数C。3.4.1当探针针尖处于同平面，探针轴线也处于同一平面（以下简称直线形排列)时，其间距为S1、S2、S3时：1111 (5)C = 2元(S,+S.S3S,+ S,S.3.4.2当探针轴线处于正方形的四个顶角（以下简称正方形排列)，其相邻两探针间距为等距离S时。..(6)C = 2元S/(2 - /2)W注：①、公式(5)适用于号大于4的样品(W是样品厚度)。②、C的单位为cm3.5探针间距修正系数F。对于等间距探头，实际探针间距不等而引入的修正系数。3.5.1对于直线形排列的探针2ln2·(7)Fsp =n[S + $(s, + $2]S,: S3当各探针间距相差较小时，上述公式可简化为：...(8)Fp = 1 + 1. 082(1W注：公式(7)、（8)适用于※小于或等于1的样品(W为样品厚度)。3.5.2对于正方形排列的探针，由于在两次两方位测量中算出平均值，可以消除探针间距差距，故不必进行修正。3.6探针游移率e十组探针间距测量值的标准偏差；与相应的探针间距的平均值S；之比值。对于直线形排列的四探针头有 e1、E2、E3三个游移率。D.(9)X 100%;3,)272?(10)d; =S.式中：i=1,2,3（探针间距顺序）j为测量组数3.7探针间距相对偏差某个探针间距十组测量值的平均值S；与平均探针间距S的相对误差。对于直线形排列的四探针头有31、22、33三个相对偏差。3 SJ/T 10315-92S:-3d=× 100%.(11)S式中：i=1,2,3（探针间距顺序）4技术要求探头按技术性能为I、I级，按寿命分为A、B、C、D类。4.1外观结构及一般要求4.1.1探头的结构应符合下列原则：结构紧凑合理，探针间距精确，导向精度高，针尖上下滑动灵活，无卡阻和拖尾现象，保证同一平面上的针尖在同一水平线上。维修更换探头方便。4.1.2探头外表面平整、光滑，无划痕、锈蚀现象。4.1.