SJ 10477-1994外圆切割机通用技术条件.pdf

L 97SJ中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10477-94外圆切割机通用技术条件General specification for excircle slicer1994-04-11发布1994-10-01实施中华人民共和国电子工业部3发布 中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10477-94外圆切割机通用技术条件General specification for excircle slicer1 主题内容与适用范围本标准规定了外圆切割机（以下简称切割机）的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装贮存等。本标准适用于外圆切割机，其他类型的切割机可参照使用。2引用标准GB 191包装储运图示标志GBn 193出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件GB 3768噪声源声功率级的测定一简易法GB5080.7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案。GB 5226机床电气设备通用技术条件GB 6388运输包装收发货标志3 术语3.1外圆切割机excircie slicer利用外圆刃部镀有金刚石粉等磨料的圆形刀片对半导体单晶等脆硬材料进行切割的设备。3.2 刀杆 cutter bar固定在主轴上，用来安装固定刀片的部件。3.3工件进给系统workpiece feed system将工件按预定进给量输送到切割位置的装置。3.4旋转工作台rotating table调整被切割工件角度的装置。3.5 电磁工作台 electromagnetic table吸紧被切割工作并附有退磁电路的装置。3.6 工件进给精度workpiece feed acuracy工件进给系统运动的实际进给量与设定进给量的最大差值。中华人民共和国电子工业部1994-04-11批准1994-10-01实施1 SJ/T 10477-944技术要求4.1°一般要求4.1.1切割机上应有指示润滑、操作、冷却、安全等标牌或标志。4.1.2主轴旋转方向必须有箭头指示。4.1.3切割机一般应具有自动切割功能。4.1.4切割机一般应有电磁工作台或旋转工作台。4.2使用条件切割机应能在下列使用条件下正常工作。4.2.1环境条件温度：25±5℃；a.相对湿度：不大于70%；b.远离振动源；c.d，通风良好。4.2.2供电条件380±38Va.220±22Vb.50 ±1Hzc.4.3主轴4.3.1切割机主轴端面圆跳动不大于0.01mm，径向圆跳动不大于0.01mm。4.3.2切割机刀杆轴向圆跳动不大于0.01mm，径向圆跳动不大于0.01mm。4.3.3在水平方向上主轴轴线和横向进给工作台的运动平行度，在测量长度为200mm的范围内不得大于0.05mm。4.3.4主轴轴线与工作台纵向进给的垂直度，在测量长度为200mm范围内，不得大于0.03mm.4.3.5主轴轴线与支臂转轴轴线的平行度，在测量长度为150mm的范围内，不得大于0.02mm.4.3.6当电力中断时主轴应具备保护装置。4.3.7主轴润滑密封必须良好，不得有渗油现象。4.3.8主轴转动应灵活、平稳、无阻滞、抖动现象。4.3.9主轴(带刀杆)应作动平衡试验和校正，平衡精度等级为G0.4。4.3.10主轴带刀杆连续运转时温升不大于50℃。4.4导轨4.4.1在行程100mm的范围内导轨运动的直线度不大于0.01mm。4.4.2滚动导轨面硬度不得低于HRC60,滑动导轨面硬度一般应为HB250~270。4.4.3滑动导轨与滑动面，滚动导轨与滚动体均应接触良好，运动轻便灵活，无阻滞及爬行现象。4.4.4滚动导轨与滚动体，滑动导轨与滑动面必须润滑良好。4.5工件进给系统4.5.1工作台面与纵向进给导轨的运动平行度，在测量长度为300mm的范围内，不大于2 1SJ/T 10477-940.06mm.4.5.2工作台面与横向进给导轨的运动平行度，在测量长度为300mm的范围内，不大于0.06mm.4.5.3工作台纵向运动与横向运动的垂直度，在测量长度大于100mm的范围内，不大于0.01mm.4.5.4旋转工作台面圆跳动不大于0.03mm。4.5.5工作台横向步进允许偏差不得大于±0.01mm。4.5.6工作台面纵向运动与横向运动的直线度，在测量长度为100mm的范围内允许偏差不大于0.03mm。4.5.7工作台在切割过程中定位应牢固可靠。4.5.8工件进给速度应在4~400mm/min内连续可调。4.5.9工件进给速度应有良好的稳定性，其允许偏差不得超过5%，在最低速度时不得有爬行现象。4.6旋转工作台调整机构旋转工作台应能绕轴线旋转360°，并应有刻度指示，读数分辨率不大于1°4.7切割冷却系统4.7.1切割冷却应充分、良好,冷却液流量应可调，并设有冷却液中断后的报警装置。4.7.2冷却系统各阀门