SJ_T 10583-2016气体质量流量控制器通用技术条件.pdf

ICS 17.120.10N12备案号：SJ中华人民共和国电子行业标准SJ/T 105832016代替SJ/T10583—1994气体质量流量控制器通用技术条件General specification for gas mass flow controller2016-09-01实施2016-04-05发布发布中华人民共和国工业和信息化部SJ SJ/T10583—2016目次前言II范围112规范性引用文件3术语和单位-4原理45分类，56要求，57试验方法.88检验规则149标志、包装、运输、贮存16 SJ/T10583—2016前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准代替SJ/T10583—1994《气体质量流量控制器通用技术条件》，与SJ/T10583—1994相比，主要差异如下：在术语部分，修改并增加部分术语；新增产品的原理和应用；品的准确康并对原标准中部分技术性能要求进行了在技术性能要求部分，新增RMATION修改；R。修改原标准中产品的贮存环境要求，电磁兼容要求；在环境条件要求新P对原标准中部分试验方法进行了修改；在试验方法部分洲在检验规则部刑除例行检验内室只别这些请注意本文件的些内容可能及专利。本文律的发布机构不承专利的责任。TECH械工业联合会本标准由中国机信愿化部电子本标准由工业和标准化研究院归口。8草单位北京七星华创电股份有本标准负责起直限公司草单位中国计量翔微机本标准参加走市计量检测利3究院、矽电系统有限公研究院手NOI司、上海工业自动化表开究院、省计量科学军昌华、段慧明杨有涛、何艺基、郭爱华、本标准主要起草贝张眼LOGYS王振。本标准于1994年首家发本次为第一次修订。NRDSDII SJ/T10583—2016气体质量流量控制器通用技术条件1范围本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、储存。本标准适用于采用热式流量测量原理（如毛细管热式原理）进行测量的气体质量流量控制器（以下简称流量控制器）。22规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191—2008包装储运图示标志GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温2电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温GB/T2423.2电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验方法GB/T2423.3电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Db：交变湿热（12h十12h循环）GB/T2423.4GB/T2423.10：电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动（正弦）GB4208外壳防护等级（IP代码）GB/T13384—2008机电产品包装通用技术条件GB/T17626.2电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验GB/T17626.4电磁兼容试验和测量技术电快速瞬变脉冲群抗扰度试验GB/T17626.5电磁兼容试验和测量技术浪涌（冲击）抗扰度试验GB/T17626.11电磁兼容试验和测量技术电压暂降、短时中断和电压变化的抗扰度试验GB/T20727一2006封闭管道中流体流量的测量热式质量流量计SJ/T10386—1993电子工业专用设备可靠性指标验证试验方法3术语和单位下列术语和单位适用于本标准。3.1术语3.1.1full scale flowrate,F.S. (F.S.)满刻度流量（F.S.）对应于最大输出信号的流量值。3. 1. 2气体质量流量gas mass flowrate1 SJ/T10583—2016流体量用质量表示的流量。通常情况下，用单位时间内流过某截面的流体的质量数来表示。3.1.3热式气体质量流量计thermalgasmassflowmeter利用热传递原理测量和指示气体质量流量的流量测量装置。3.1.4热式气体质量流量控制器thermalgasmassflowcontroller由热式气体质量流量计、阀和电子控制装置组成的气体流量控制装置。注：热式气体质量流量计的输出与可调整的流量设是点相比较，离相肥动作，使流量保持在流量设定点。RMATIONJSTRY3.1.5流量设定点（S.P.ADUSTAR外部给流量控制器量设定TECHNT03. 1. 6Eowrate rang流量控制范围自在该范围内满性能的要习斤限定的范中设定流影听ZO3.1.7readinol流量示值OG)q流量控制器输出的流量检测信号所表示的流量值。3.1.8SSTRD标准流量值realflow,4Mqo-通过流量控制器的气体流量的标准值。3.1.9重复性repeatability,f在相同的环境条件下，流量控制