SJ_T 11450-2013单晶炉能源消耗规范.pdf

ICS 31-550L 01SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T 11450—2013单晶炉能源消耗规范Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower2013-12-01实施2013-10-17发布发布中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T 114502013前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由工业和信息化部节能与综合利用司、中国电子节能技术协会提出。本标准由中国电子技术标准化研究院归口。本标准起草单位：北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心。本标准主要起草人：张燕玲、范宝山、杨卫平、谭三成、吴志红、蒋迪宝、薛松、严海若1 SJ/T11450—2013引言为了贯彻国务院关于加快建设节约型社会及工业和信息化部关于开展资源节约、完善规章制度和标准的要求，根据原信息产业部信运简[2005]23号文和信运简[2006]04号文的要求，制定本标准SCOTECHNOLOG022011OTANDARDSI1. SJ/T11450—2013单晶炉能源消耗规范范围本标准规定了单晶炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于装料量为60kg～150kg的单晶炉。规范性引用文件2NDINFOR下列文件对于本文件的应用是必不奇少的。元是注日期的的女件，又注日期的版本适用于本文件。AT真必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适凡是不注日期的引用文电ION用能设备能量GB/T2587平衡通则GB/T 3484R平衡通GB/T12723能消耗限额编制达通则GB 17167能单位能源器具配备TECHN:标计算原则3能源消耗指为核尊3.1单晶炉能台源消耗指标是以单晶炉作为以合村单位产量元的可比单耗。H人1单鞋生产每3.2单晶炉可克硅单品棒的毛能量气器正和3.3实耗电能量是系统直接消耗的电能量和使的耗能工质间接接消耗的电能也可按生产周期进行现场测算数据的取值应符合3.4单晶炉可比单接统计期进行统计计算GB-17167 的要求。GB/T 2587、GB/规定；使用的能源计量器具应符合201.能源消耗等级指标4ARDSS单晶炉能源消耗等级指标应符合表的规定n表原消耗等级指标晶炉可比单耗kw.h/kg二级一级b≤62.062.0b≤77.55可比单耗计算方法5.1单晶炉的可比单耗按公式（1）计算：E(1)b,-m.1 SJ/T11450-2013式中：bk可比单耗，单位为千瓦时每于克（kwh／kg）E统计期内单晶炉实耗电能量，单位为千瓦时（kw·h）计算方法见公式（2）：mz统计期内该设备合格产品的产量，单位为千克（kg）5.2实耗电能量（E)按公式（2）计算：E-EI+E2+E3(2)式中：E系统（包括控制装置，不包括磁场））消耗的电能量，单位为千瓦时（kW·h）：E冷却水折合电能量，单位为千瓦时（kW·h），计算方法见公式（3）；E氯气折合电能量，单位为千瓦时（kw·h），计算方法见公式（4）。5.2.17冷却水折合电能量（E）按公式（3）计算：E2=B2-N2(3式中：B2冷却水的折电系数，单位为千瓦时每吨（kW·h／t），当使用自来水时β2=0.6364，当使用循环水时其折电系数按每吨水的耗电量计算：N2—-冷却水消耗量，单位为吨（t）05.2.2氩气折合电能量（E）按公式（4）计算E3-B3.N3A式中：β3——氟气的折电系数，单位为千瓦时每立方米（kw·hm），β3=3.16；N-氩气消耗量（标态）单位为立方米（m）。注：标态系标准状态的简称，指的是温度为0℃、压力为101325Pa时的状态。5.3合格产品产量的计算单晶炉合格产品产量是指统计期内单晶炉拉出的经检验合格的单晶硅棒的整体质量（包括头尾）之和。5.4单晶炉能耗的统计计算表用于评价，见附录A；现场测试计算表用于检查和自检，见附录B。6评价原则6.1单晶炉的可比单耗小于或等于62.0kwh/kg的，能耗达到-级指标。6.2单晶炉的可比单耗在62.0kw，h/kg以上且小于或等于77.5kw·h/kg的，能耗达到二级指标。 100-0011 1/3月Uz6I.中o日6.49ES6VMY各爵EE91.E名雨U.MY惠有K0自用（）台影香台影一 华fz出1BX/Y·MYot6ElmNRORMATIONANDE8车INDUSTRY2EF9 TEGHNOLONMHOATSIN万H.ES福2011NDARDSSTA18万2U·MY22-00（海华）一雪辣辣电 810-0111/a再球B福日州%时3:MY中月~分各面.时EO月台面3年）首长王工喜影台馨3 2市海2v,: 日年BX/U·MY车·MYJE心u/××NRORMANONTECHNO