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本发明公开了一种带耙齿状机构的ESD浪涌防护TVS结构及其制备方法。其结构特点包括：一是在TVS晶圆表面如发明所公开的经过文中所详细阐述约束设计的分区耙齿状机构，二是在TVS基底底部如发明所公开的全区域耙齿状机构，三是在如发明所公开地在TVS晶圆表面下方数微米深处实现的经过文中所详细阐述约束设计的多功能边缘机构。涵纳本发明所公开内容所得到的TVS管，在不影响基本电学参数情况下，一方面具备更高的瞬时单位电流泻放能力，亦即具备更好的ESD浪涌防护性能。另一方面，更重要的是具备良好的高低温和重复冲击下
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116565029 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310629908.8
(22)申请日 2023.05.31
(71)申请人 江苏庆延微电子有
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