SJ_T 31080-2016光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法.pdf

ICS 31-550L01SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T 31080—2016代替SJ/T31080—1994光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法Pattern generator for photomask making requirements of readiness andmethods of inspection assessment2016-06-01实施2016-01-15发布发布中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T31080—2016前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准代替并废止SJ/T31080—1994《图形发生器完好要求和检查评定方法》。本标准与SJ/T31080—1994相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：标准名称“图形发生器完好要求和检查评定方法”修改为“光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法”第1章中“本标准规定了图形发生器的完好要求和检查评定方法”修改为“本标准规定了光掩膜制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法”；增加了“规范性引用文件”一章；-对3.1中间掩模的第二名称“初级版”改为“初缩版”；-对“工作台正交性”技术指标的描述做了修改；-对4.1.5中“光源均匀性为土5%”改为“光源非均匀性为5%”；-对4.1.6中“采用HP5501A激光干涉仪”改为“采用双频激光干涉仪”；对“计算机控制系统”的内容做了修改；对“评定方法”的描述做了修改。本标准由中国电子技术标准化研究院归口。本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所。本标准主要起草人：张倩、石少青、辛士卓、朱石平、王丽英、侯文明、田伟、严海若。本标准的历次版本发布情况为：SJ/T31080—1994。 SJ/T31080—2016光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法1范围本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器（如3600型、EM250型等）可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。SJ/T31001—2016设备完好要求和检查评定方法编写导则SJ/T31002—2016企业设备维护保养通则3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1中间掩模reticle初缩版用图形发生器制作在感光板上，其图形尺寸一般大于集成电路实际尺寸的掩模。3. 2可变狭缝variableaperture在图形发生器中用于产生各种图形的机构，通常由两组可开合的刀口组成，4完好要求4.1主要技术指标4.1.1工作台定位精度为±0.25μm。4.1.2150mm全程范围内的总精度为土0.60Hm。4.1.3工作台正交性为土0.54.1.4可制作曝光面积为150mm×150mm的掩模。具有两种曝光光源，即闪光灯光源和汞灯光源，可分别制作乳胶干板和铬版，光源非均匀性为4. 1.55% 。4. 1. 6采用双频激光干涉仪进行闭环控制，最小输入数据0.1Hm。4. 1.7可变狭缝在像面可产生线宽2Hm.至1.5mm的矩形，狭缝可围绕中心旋转0°～90°。1 SJ/T31080—2016自动调焦系统Z轴运动范围是635m，对版面的探测精度是±0.25Hm。4.1.84:2操作系统各开关及按钮启动灵活，标识齐全。4.2.14. 2.2制动及限位装置齐全，灵活可靠。4.3传动系统设备运转平稳、无振动。4.4润滑系统润滑系统完好无损。INRORMATIONZAND4.5真空系统NDUSTRY低真空系统工作正常4.6气压系统TECHNOLO天燥及为隔震台提经过工作正常。8880电气系统4.7福充运行靠，保护装容车4.7.1电气系路峰绝缘层无电气线计算机控主机、显示终建盘应工和测试程序正常读镜程序数握的机型，磁带机应工作正常，主机操作程序和测试程可由磁带读入。由磁带机录4.9附件1L附件齐全，保管良好，无锈蚀及损伤。RDS4.10附属装置净化间应保持21℃±0.1℃，相对湿度N持在百级以内。A4.11安全防护4.11.1各安全防护装置安全、可靠。接地可靠，标识明显。1.3计算机应有良好的接地地线。4.12维护保养4.12.1设备环境温度应保持在20℃～25℃，相对湿度小于75%。4.12.2其他按SJ/T31002—2016的规定执行。2 SJ/T 31080—20165检查、评定方法5.1检查方法输入专用测试程序，用图形发生器制作方阵状及鱼骨状检测图形（见图1、图2），用高精度测5.1.1长仪器及高倍显微镜检查检测