SJ_T 11629-2016太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法.pdf

ICS 77.040H21SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T11629—2016太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法Test method for in-line characterization of photovoltaic silicon wafers and cellsbyusingphotoluminescence2016-09-01实施2016-04-05发布发布中华人民共和国工业和信息化部S SJ/T11629—2016前 言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。本标准起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、浙江精功科技股份有限公司、苏州协鑫光伏科技门限VE电投西安太阳能电力有限公司。任皓、贺东江卫国军善明、黄黎。本标准主要起草人：唐贺杰ORMATIONROITECHNOLOGYSmLSRDD SJ/T11629—2016太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法1范围本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）和电池片的在线光致发光分析方法。本标准适用于太阳能电池用硅片和电池片，在采用本标准提供的测试方法测试其他类型的样品之前，需由供需双方协商确定。INFORMAND2规范性引用文件A下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文日期的版本适用于本文件。?其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本凡是不注日期的引用文件具2半导体GB/T 14264材料术TECHNOLOGY3术语和定义0E64界定的以及下诺用用于本文件。GB/T 142643.1硅落silicon falls硅片表面未贯建片的局部区4方法提要用波长小于1104nm的光放置在承载装置上的硅片或电池片被传送并经过成像系统，如图1所示。自复合发光，而无缺陷区域主要源作为激发光照射硅片或电池片。硅片或电池片体内缺陷区域主要缺陷片或电池片中缺陷与本征发光存在明显光可以通过相机获取硅片为本征发光，选取合适的带通滤波器详品的缺陷在硅片或电池片各处的分布情况，强差异的图片，再经过图像处理系进而对硅片或电池片进行质量监控。常见的在线光致发光测试结果参见附录A。 SJ/T11629—2016感光元件镜头和带通滤波器激光源和光学装置样片运动方向样片图1在线光致发光光路及成像系统5干扰因素5.1测试过程中，硅片或电池片的振动或者挪移会影响硅片或电池片成像的清晰度，从而影响光致发光的分析结果。5.2测试环境的温度会影响相机CCD的响应，当环境温度波动过大时，会影响相机信号稳定性，需要将温度控制在25℃±2℃。5.3同一硅片或电池片不同区域表面状况的不均匀变化或连续不同样品之间的表面状况变化可能会影响测试结果，可能涉及的表面影响因素有崩边、硅落、表面沾污、翘曲和线痕等。仪器66.1总则在线光致发光分析系统一般包括成像系统、图像处理系统和计算机系统，如图2所示。2 SJ/T11629—2016暗室成像系统相机光源图像处理系统计算机系统INPORMATION0OZTECHNOLEHO光致发光分析系统结构图6.2成像系组成6.2.1室两侧各开有一狭缝，供由技容组成。暗成像系统刀赠室，1光源、租相利响测试结果，同时最大程培室外的光样片通过。狭缝四样片通过自度减少激光对人体的危6.2.2承载装置与皮带应保持相对静止且带来承载并匀速传送待测样片承载装置通常采用皮片上留不应影响到光路，同时也不下影响测试的任何物休测试中承载装置应保持平稳，且振动幅度应小F2006.2.3光源选用中心波长785nm^c1104nm的光源，使其注入深度宜为硅片厚度的一半左右。红外光源的光经过发生器产生，并经光纤导入测试模块。此光纤的作用在于保证在测试过程中，没有与样片产生的光致发光处于同样波段的光从外界进入光纤。一条单色线性光的窄带会投射到样片的表面，此线性光窄带垂直于样片的行进方向，该光带光强的半高宽度为WFWHM，投射光与样片表面夹角为α，沿着此投影光带的光强的标准偏差要小于此光带光强平均值的10%。光源发出的光会经过带通滤波器，此带通滤波器的作用是让发生器产生的波长为入c的光顺利通过，同时阻止与样片产生的光致发光处于同样波段的光从光纤进入成像系统。6.2.4相机3 SJ/T11629—20线性相机中的感应器排列成一个至少含有1024个像素的线阵。每个感应器在接收到样片光致发光波段中任意波长的光时，其外量子效率要处于同一水平。噪音(3α)应不大于感应器最大探测能力的1%。相机镜头前装有带通滤