- 1、本文档共23页,其中可免费阅读22页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种半导体结构及其形成方法,方法包括:提供衬底,包括第一区和第二区,第一区内具有第一掺杂区;在第一子区的第一掺杂区内形成第一牺牲层;在第二子区形成第一栅极结构;在第四子区上形成第二栅极结构;在第一子区内形成导电类型与第一掺杂区相反的第二掺杂区,第一牺牲层的深度大于等于第二掺杂区的深度;在衬底上形成介质结构;在介质结构内形成暴露出第一牺牲层表面的第一开口和暴露出第四子区表面的第二开口;去除第一开口暴露出的第一牺牲层,在第一开口底部的第一子区内形成第三开口;在第一开口内和第三开口内形成电连接第一掺杂
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116564893 A
(43)申请公布日 2023.08.08
(21)申请号 202310600321.4
(22)申请日 2023.05.25
(71)申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司
地
您可能关注的文档
- 活动式组合阀座及平板闸阀.pdf
- 一种高密度trench型MOSFET的制造方法.pdf
- 一种高阻值多晶硅电阻的制造方法.pdf
- 一种遥控式喷涂装置.pdf
- 一种具有自动清废功能的零配件模切装置.pdf
- 一种MOS管快速检测和矫正的装置及方法.pdf
- 一种超声焊接装置及焊接方法.pdf
- 表格内容处理方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 一种双轮缘车轮一次性轧制成型方法及装置.pdf
- 一种用于汽油机三元催化剂温度调控的方法.pdf
- 2024年江西省寻乌县九上数学开学复习检测模拟试题【含答案】.doc
- 2024年江西省省宜春市袁州区数学九上开学学业水平测试模拟试题【含答案】.doc
- 《GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语.pdf
- GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- 《GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 《GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南》.pdf
文档评论(0)