SJ_T 11638-2016电子化学品中颗粒的测试方法.pdf

ICS 31.030L90SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T 11638—2016电子化学品中颗粒的测试方法Test method of particle in electronic chemicals2017-01-01实施2016-10-22发布发布中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T 11638—2016前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则编写。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。杭州格林达化学有限公司，工业和信息化部电子工业标准化研究院。本标准主要起草人：尹云舰、陈玉英、裴会川、周利超、黄德新、王香。H SJ/T116382016电子化学品中颗粒的测试方法1范围本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径有0.1μm～1.0μm可选。测定的电子化学品的颗粒浓度为（0～10000）每毫升/个，其他粒径的可参考执行。INFORMAAND2规范性引用文件TRYHON日期的版本适用于本文件。下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本凡是不注日期的引用电GB/T 11446.级水TECHNOLOGY电子级水去通则GB/T114463级水位的仪器测试方法GB/T 114495CaGB 50073房设计8Y3术语和定义R下列术语和香用于本文作定S3.1颗粒particle本电子化学品中并和化学品形成一个均匀液相的物质？除气体外，分散在液S4方法原理D品流向方向入射，化学品中的颗粒将品按GB/T11446.9规定，敦光临散射光经聚光镜会聚到光电倍增管，将产生光散射效应，散射光的强度与颗粒的大送光信号变成电脉冲，电脉冲的数目和幅度分别与化学品中颗粒的数目和直径成正比，电脉冲信号经放大后，输入微机，再经微机处理后，显示或打印检测结果。本方法的原理方框图，见图1。 SJ/T11638—2016He-Ne激光光源聚光系统散射腔聚光系统水样光电转换系统放大系统微机输出信号处理系统图15试剂和材料5.1实验用水符合GB/T11446.1规定的EW-I级水。5. 2适合的基体溶剂5. 3超纯硝酸金属离子含量不大于1ug/L。5. 4高纯氮气含量不低于99.999%。6仪器6.1主要组成液体颗粒计数仪主要包括进样系统、颗粒计数器、流量测量及控制系统。6.2仪器要求液体颗粒计数仪其进样系统和检测池不能与待测化学品发生反应，包含的粒径通道有0.1μm～1.0μm可选。注：根据样品特性可选用加压装置、脱气装置。7测定7.1测试前的准备2 SJ/T11638—2016按GB50073规定，推荐在洁净度等级为2级的环境中操作。按仪器操作规程开启电源，使仪器进入准备工作状态。7.2测定步骤7.2.1采样瓶的处理采样瓶先用电子化学品清洗剂进行浸泡清洗干净，再用10%硝酸浸泡48h，然后用电子级水冲洗干净，再根据待测样品性质选择以下处理：a）水溶性样品，采样瓶贮满电子级水，备用；b）非水溶性样品，采样瓶使用前需干燥处理，备用。7.2.2采样可采用以下两种方式进行采样：选取7.2.1中的采样瓶，按GB/T11446.3规定，取样前以待测化学品反复冲洗采样瓶。采样a)量不低于采样瓶容积的4/5；对原包装产品直接测定。b)7.2.3样品测试按仪器的操作规程对样品进行颗粒检测。7.3计算液体电子化学品中颗粒的含量以“p”计，数值以“个/毫升”表示，按公式（1）计算：IPP =... (.).ni=l式中：P第i次测量的化学品中的颗粒数，单位为个每毫升（个/毫升）；n—测量的次数，n≥5。8精密度本方法要求粒径小于等于0.3μm结果的相对标准偏差RSD≤30%。9报告报告应包括如下内容：报告日期；a)编制、审核、批准人员签字；b)测试结果；c)测量仪器名称及型号；d)测量仪器的校准状态。e)3 -中华人民共和国电子行业标准电子化学品中颗粒的测试方法SJ/T11638—2016*中国电子技术标准化研究院编制中国电子技术标准化研究院发行电话：（010真：（010址：北京市安定门东大街1号邮编：100007网址：*印张：1开本：880×12301/16字数：12千字22017年1月第一版2017年1月第一次印刷印数：200册定价：20.00元版权专有不得翻印举报电话：（010