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一种存载和周转硅片用花篮.pdfVIP

一种存载和周转硅片用花篮.pdf

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    本实用新型公开一种存载和周转硅片用花篮，其包括上下相对设置的支撑板、设置在两个支撑板之间的两个连接件和至少一个支撑件，支撑板与水平面平行设置；两个支撑板之间还设置有两个收容组件，且设置在连接件和支撑件之间，每一个收容组件包括两个或多个前后相对设置的固定板，固定板与两个支撑板均连接，且每相邻两个固定板之间保持预设的间距；固定板上设置有多个卡槽，卡槽沿前后方向延伸；两个收容组件上左右相对设置的固定板上的卡槽沿水平方向一一对应设置，以形成容置硅片的空间。本实用新型设计的存载和周转硅片用花篮，可减小硅片

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210073793 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192

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