加热炉体和半导体设备.pdfVIP

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2023-08-13 发布于四川
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加热炉体和半导体设备.pdf

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本实用新型提供一种加热炉体和半导体设备，该加热炉体包括：环形保温体；环绕设置在所述环形保温体周围的炉壳；设置在所述环形保温体和所述炉壳之间的缓冲层；以及相互独立的多个加热结构，沿环形保温体的轴向依次设置在环形保温体的内侧；并且，有至少一个加热结构包括多个加热分部，且与环形保温体的周向上划分的多个分区一一对应，其中至少两个加热分部在同一时间辐射出的热量不同。本实用新型提供的加热炉体，其能够在同等或较少的加热功率条件下，提高加热效率，缩短加热时间，同时又能够提高工艺均匀性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210070582 U (45)授权公告日 2020.02.14 (21)申请号 20192