一种进气炉门及包含其的管式PECVD反应室.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种进气炉门及包含其的管式PECVD反应室.pdf

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本发明公开了一种进气炉门及包含其的管式PECVD反应室，包括：炉门本体、缓冲组件和气体导流组件，所述缓冲组件设置在炉门本体外侧，用于调节进气炉门上的预应力；至少两组所述气体导流组件对称设置在炉门本体内侧，且气体导流组件的输入端与输送工艺气体的进气管连接，用于实现工艺气体沿炉门本体内侧面均匀扩散至管式PECVD反应室内部。本发明还公开了包含上述进气炉门的管式PECVD反应室。本发明具有结构紧凑、进气均匀、变形程度小且连接牢固等优点，提高了PECVD设备的运行稳定性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116607128 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310534597.7 (22)申请日 2023.05.11 (71)申请人湖南红太阳光电科技有限公司地址

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