GB/T 24582-2023多晶硅表面金属杂质含量测定　酸浸取-电感耦合等离子体质谱法.pdf

ICS77.040 CCSH 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT24582 2023 代替 / — GBT24582 2009 多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取 电感耦合等离子体质谱法 - Testmethodformeasurin surfacemetalim uritcontentofolcrstalline g p y p y y — silicon Acidextraction-inductivelcouled lasmamasssectrometrmethod y p p p y 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT24582 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 / — 《 》, 本文件代替 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 与 GBT24582 2009 - / — , , : GBT24582 2009相比 除结构调整和编辑性改动外 主要技术变化如下 ) ( , ); 更改了适用范围 见第 章 年版的第 章 a 1 2009 1 ) “ ” “ ”( ); 删除了 术语 与 缩略语 见 年版的第 章 b 2009 3 ) ( , ); 更改了方法原理 见第 章 年版的第 章 c 4 2009 4 ) ( ,