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一种负压放电的等离子体处理装置，属于等离子体设备技术领域。其特征在于：包括箱体（1）以及设置在箱体（1）内的两组电极管，电极管的两端均连接有进水管（12）和出水管（16），进水管（12）和出水管（16）与箱体（1）之间均设置有密封件（13），箱体（1）还连接有抽负压装置；每组所述电极管均包括平行且间隔设置的多根方形管，两组电极管的方形管一一对应，且两组电极管的相对应的方形管正对设置，方形管的一端与进水管（12）相连通，另一端与出水管（16）相连通。本负压放电的等离子体处理装置使整个电极管的温度均
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210182328 U
(45)授权公告日
2020.03.24
(21)申请号 20192
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