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一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置.pdfVIP

一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置.pdf

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    本实用新型涉及靶材绑定控制设备技术领域，尤其是指一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，其包括主控柜、独立于主控柜外的发热组件和设置于主控柜内的控制电路，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括一外发热包组和一内发热包组，三相电源输入端并联有两组温控系统，各温控系统分别调控外发热包组和内发热包组的发热温度。本实用新型经由两套相互独立的温控系统对靶材温度对背管温度按预先设置好的温度曲线独立控制，其绑定效率高，操作方便。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210209037 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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