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第15章 MEMS传感器15.1 概 述15.2 MEMS传感器分类15.3 MEMS加速度计15.3.1 压阻式MEMS加速度计15.3.2 电容式MEMS加速度计15.3.3 静电力平衡式MEMS加速度计15.3.4 石英振梁式MEMS加速度计15.3.5 隧道效应MEMS加速度计15.4 MEMS陀螺15.4.1 石英音叉MEMS振动陀螺仪15.4.2 MEMS硅双框架振动陀螺仪15.4.3 MEMS硅梳状驱动振动陀螺仪15.4.4 MEMS静电陀螺仪15.5 MEMS传感器的信号调理15.5.1 MEMS压阻式传感器的信号调理15.5.2 MEMS电容式传感器的信号调理15.5.3 M
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