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透明導電薄膜(TCO)
之原理及其應用發展;ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹
透明導電氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO)
TCO的導電原理
TCO的光學性質
TCO 薄膜之市場應用及發展;1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹
透明導電氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO);什麼是透明導電薄膜?;?純金屬薄膜
√Au、Ag、Pt、Cu、Al、Cr、Pd、Rh,在 10nm厚度的薄膜,
√ 均有某種程度的可見光透光度
√早期使用之透明電極
√缺點:光的吸收度大、硬度低、穩定性差;透明導電薄膜;History of TCO;透明導電薄膜主角-- ITO;ITO是 麼?;Why choose ITO ?;ITO之組成及特性;ITO 組成在In2O3/SnO2 = 90/10時
?最快的蝕刻速率;銦(In)礦的主要應用;各種TCO材料--
ZnO系透明導電膜;1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹;TCO薄膜的導電原理
(n-type TCO)-- ITO;?材料之導電率σ;TCO薄膜的導電原理;TCO薄膜的導電原理;TCO薄膜的導電;魚???熊掌不可兼得;1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹;TCO的光學性質;電漿頻率ω = (4πne2/m*)1/2;摻雜物(載子)密度對透光度的影響;電阻比= 面阻值x 膜厚 (ρ = γ x D)
低面阻值ITO玻璃鍍膜,電阻比越低越好
考慮高穿透率,膜厚的設計必須避免建設性的干涉,
所以nd=(2m+1)λ/4,m=1,2,3,4….。;高穿透度、吸收小
低電阻比﹙以較低之薄膜厚度得到較佳之導電性﹚
膜厚均勻性
良好的附著力
蝕刻製程容易
耐候性佳,受環境影響小
無Pin hole
無Hill lock;1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹;TCO 薄膜之市場應用–ITO 之應用;Display Application
PM LCD;Display Application
OLED
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