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第四章 薄膜力学性能部分
第四章 薄膜的力学性能4.1 薄膜的弹性性能4.2 薄膜的残余应力4.3 薄膜的断裂韧性4.4 薄膜的硬度4.5 薄膜的摩擦、磨损和磨蚀
定 义用物理的、化学的、或者其他方法，在金属或非金属基体表面形成一层具有一定厚度(小于 )的不同于基体材料且具有一定的强化、防护或特殊功能的覆盖层。
分 类脆性薄膜韧性薄膜按力学脆性基底脆性基底性质分脆性薄膜韧性薄膜韧性基底类韧性基底
4.1 薄膜的弹性性能一、薄膜的弹性常数弹性模量是材料最基本的力学性能参之一，由于薄膜的某些本质的不同之处，其弹性模量可能完全不同于同组分的大块材料。
三点弯曲如图所示，加载和挠度的测量均在两支点中
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