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本实用新型公开了一种高效硅片清洗机，包括底座，所述底座的顶部外壁开设有环状结构的清洗槽，且清洗槽的底部内壁转动连接有驱动环，驱动环的底部传动连接有驱动机构，所述驱动环的顶部固定多个连接座，且连接座顶部的中间位置固定有卡块，所述连接座的顶部设置有收纳盒，且收纳盒的两端开口，收纳盒的内部卡放有多个硅片，所述收纳盒的底部开设有与卡块相适配的卡槽。本实用新型可在连接座步进过程中停止的其中一个位置不断将收纳盒卡放于连接座上，并在相邻连接座停止的位置将清洗后的收纳盒取出，从而实现对硅片的连续清理作业，避免清
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210325727 U
(45)授权公告日
2020.04.14
(21)申请号 20192
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